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半导体加工石墨粉需满足的要求

来源:未知时间:2022-10-28 13:11打印打印 字号:T|T
一部分半导体生产制造过程中,会添加石墨粉提高性能,但需要考虑石墨粉纯度、粒度分布,耐高温性等等
  一部分半导体生产制造过程中,会添加石墨粉提高性能,但需要考虑石墨粉纯度、粒度分布,耐高温性等等。下面及时半导体加工用石墨粉的要求:
  1、纯度高
  对石墨粉纯度要求很高,如果杂质含量多,会污染半导体材料。因此除对所应用石墨粉的纯度严控外,还需经过高溫石墨化处理,以降低灰分。
  2、粒度分布高
  用以煅烧的磨具规定生产加工精密度很高,石墨粉颗粒物度要细,颗粒物度细的石墨非常容易超过生产加工精密度,且高溫抗压强度高,耗损小。
  3、耐热
  半导体工业生产常用石墨器件大多要反复加热和冷却,所以石墨材料在高溫条件下,应具备优良的尺寸稳定性和耐热冲击性能,以提升石墨器件的使用寿命,
石墨粉
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